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什么是納米傳感器
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提問者:網(wǎng)友
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2018-08-21
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納米技術(shù)是研究尺寸在01~100nm的物質(zhì)組成體系的運動規(guī)律和相互作用以及可能的實際應(yīng)用中的技術(shù)問題的科學技術(shù)〔1〕。納米技術(shù)的發(fā)展,不僅為傳感器提供了優(yōu)良的敏感材料,例如納米粒子、納米管、納米線、納米薄膜等,而且為傳感器制作提供了許多新型的方法,例如納米技術(shù)中的關(guān)鍵技術(shù)STM,研究對象向納米尺度過渡的MEMS技術(shù)等。與傳統(tǒng)的傳感器相比,納米傳感器尺寸減小、精度提高等性能大大改善,更重要的是利用納米技術(shù)制作傳感器,是站在原子尺度上,從而極大地豐富了傳感器的理論,推動了傳感器的制作水平,拓寬了傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域。納米傳感器現(xiàn)已在生物、化學、機械、航空、軍事等方面獲得廣泛的發(fā)展。湖南長沙索普測控技術(shù)有限公司研制成功電阻應(yīng)變式納米壓力傳感器,這種電阻應(yīng)變式納米膜壓力傳感器,測量精度和靈敏度高、體積小、重量輕、安裝維護方便,是一種穩(wěn)定和可靠的測量壓力參數(shù)的科技創(chuàng)新產(chǎn)品。利用一些納米材料的巨磁阻效應(yīng),科學家們已經(jīng)研制出了各種納米磁敏傳感器〔2〕。在生物傳感器中,用納米顆粒、多孔納米結(jié)構(gòu)和納米器件都獲得了令人滿意的應(yīng)用〔3〕。在光纖傳感器基礎(chǔ)上發(fā)展起來的納米光纖生物傳感器,不但具有光纖傳感器的優(yōu)點,而且由于這種傳感器的尺寸只取決于探針的大小,大大減小了測微傳感器的體積,響應(yīng)時間大大縮短,滿足了單細胞內(nèi)測量要求實現(xiàn)的微創(chuàng)實時動態(tài)測量〔4〕。 2納米氣敏傳感器的研究現(xiàn)狀 隨著工業(yè)生產(chǎn)和環(huán)境檢測的迫切需要,納米氣敏傳感器已獲得長足的進展。用零維的金屬氧化物半導(dǎo)體納米顆粒、碳納米管及二維納米薄膜等都可以作為敏感材料構(gòu)成氣敏傳感器。這是因為納米氣敏傳感器具有常規(guī)傳感器不可替代的優(yōu)點:一是納米固體材料具有龐大的界面,提供了大量氣體通道,從而大大提高了靈敏度;二是工作溫度大大降低;三是大大縮小了傳感器的尺寸〔5〕。 2.1基于金屬氧化物半導(dǎo)體納米顆粒的納米氣敏傳感器 在氣敏傳感器的研究中,主要方向之一是在氣體環(huán)境中依靠敏感材料(例如金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏材料以SnO2,ZnO,TiO2,F(xiàn)e2O3為代表)的電導(dǎo)發(fā)生變化來制作氣敏傳感器。目前已實用化的氣敏傳感器由納米SnO2膜制成,用作可燃性氣體泄漏報警器和濕度傳感器。在這些納米敏感材料中加入貴重金屬納米顆粒(例如Pt和Pd),大大增強了選擇性,提高了靈敏度,降低了工作溫度。其性能的具體改善程度與加入貴重金屬納米顆粒的晶粒尺寸、化學狀態(tài)及分布有關(guān)。北京大學王遠等人〔6〕制成一種TiO2/PtO
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